矢野学 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】 本開示は、軸外収差補正を可能とするマルチビーム照射装置の提案を目的とする。【解決手段】 上記目的を達成するために、複数のビームを放出するビーム源と、試料に対してビームを集束する対物レンズ(17)と、対物レンズの物点にレンズ主面が位置するように配置され、入射する複数のビームを前記対物レンズ主面と光軸の交点に向かって偏向する第1のレンズ(16)と、当該第1の...

    ビーム照射装置