相場一清 さんに関する公開一覧

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  1. 技術 樹脂

    【課題】レジストに用いた場合に充分実用に足る溶解コントラストを有し、かつパターン倒れを抑制可能な樹脂、を提供する。【解決手段】低級アルキル分子から3方以上にポリマー鎖が延びた星型分岐ポリマーを含むことを特徴とする、酸の作用によりアルカリに対する溶解性が増大するレジスト用樹脂、3官能以上の連鎖移動剤の存在下、(メタ)アクリル酸エステルを含む単量体の重合により得られる星型...