皆藤孝 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】高分解能の観察や微細な加工が可能な複合集束イオンビーム装置及びそれを用いた加工観察方法、加工方法を提供する。【解決手段】複合集束イオンビーム装置は、第1のイオンを発生させる液体金属イオン源を備えた第1のイオンビーム照射系10と、第2のイオンを発生させるガスフィールドイオン源を備えた第2のイオンビーム照射系20とを有し、第2のイオンビーム照射系20から射出される...

    複合集束イオンビーム装置及びそれを用いた試料加工方法