畠山潤 さんに関する公開一覧

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  1. 技術 レジスト材料及びパターン形成方法

    【課題】ポジ型レジスト材料においてもネガ型レジスト材料においても、高感度かつＬＷＲやＣＤＵが小さいレジスト材料、及びこれを用いるパターン形成方法を提供する。【解決手段】ヨウ素原子を含むベースポリマー、並びにヨウ素化ベンゼン環含有カルボン酸のスルホニウム塩又はアンモニウム塩、ヨウ素化ベンゼン環含有Ｎ−カルボニルスルホンアミドのスルホニウム塩又はアンモニウム塩、ヨウ素化ベ...

  2. 技術 ポジ型レジスト材料及びパターン形成方法

    【課題】従来のポジ型レジスト材料を上回る高感度、高解像度で、エッジラフネス（ＬＥＲ、ＬＷＲ）や寸法バラツキが小さく、露光後のパターン形状が良好であるポジ型レジスト材料、及びパターン形成方法を提供する。【解決手段】カルボキシ基の水素原子が、窒素原子を有する３級炭化水素基で置換されている繰り返し単位を含むベースポリマーを含むポジ型レジスト材料。

  3. 技術 複合伸縮性膜及びその形成方法

    【課題】優れた伸縮性と強度を有し、かつ膜表面の撥水性にも優れた伸縮性膜及びその形成方法を提供する。【解決手段】伸縮性膜であって、ポリカーボネート又はポリエステルとウレタン結合を有する単位１つ以上と、シリコーンペンダント型ウレタン単位とが共重合されたポリウレタンの硬化物からなる表面膜が、ポリエーテルとウレタン結合からなる単位を有するポリウレタン２の硬化物からなる内部膜上...

    複合伸縮性膜及びその形成方法

  4. 技術 伸縮性膜及び伸縮性膜の形成方法

    【課題】優れた伸縮性と強度を有し、かつ膜表面の撥水性にも優れた伸縮性膜及びその形成方法を提供する。【解決手段】伸縮性膜６であって、フッ素原子を有する繰り返し単位を含有するポリウレタン膜６−２と、珪素原子を有する繰り返し単位を含有するポリウレタン膜６−１とが積層されたものであり、伸縮性膜の少なくとも一方の面がフッ素原子を有する繰り返し単位を含有するポリウレタン膜であるこ...

    伸縮性膜及び伸縮性膜の形成方法

  5. 技術 レジスト材料及びパターン形成方法

    【課題】ポジ型レジスト材料においてもネガ型レジスト材料においても、高感度かつＬＷＲやＣＤＵが小さいレジスト材料、及びこれを用いるパターン形成方法を提供する。【解決手段】下記式（１）で表されるスルホニウム塩を含むクエンチャーを含むレジスト材料。Ｒ１及びＲ２は、単結合、エーテル結合、炭素数１〜２０の２価の炭化水素基である。Ｌ１はエステル結合、エーテル結合、アミド結合である...

  6. 技術 レジスト材料及びパターン形成方法

    【課題】ポジ型レジスト材料においてもネガ型レジスト材料においても、高感度かつＬＷＲやＣＤＵが小さいレジスト材料、及びこれを用いるパターン形成方法を提供する。【解決手段】下記式（１）で表されるスルホニウム塩を含む酸発生剤を含むレジスト材料。式中Ｒ１、Ｒ２は、単結合、エーテル結合、エステル結合、炭素数１〜２０の２価の脂肪族炭化水素基。Ｌ１は、エステル結合、エーテル結合、ア...

  7. 技術 レジスト材料及びパターン形成方法

    【課題】ポジ型レジスト材料においてもネガ型レジスト材料においても、高感度かつＬＷＲやＣＤＵが小さいレジスト材料、及びこれを用いるパターン形成方法を提供する。【解決手段】ベースポリマー及びクエンチャーを含むレジスト材料であって、前記クエンチャーが、ヨウ素原子で置換された芳香環がエステル結合及びエーテル結合から選ばれる少なくとも１種を含んでいてもよい炭素数１〜２０の２価炭...

  8. 技術 生体電極組成物、生体電極、及び生体電極の製造方法

    【課題】導電性及び生体適合性に優れ、軽量であり、かつ低コストで製造することができ、導電性が大幅に低下することがない生体電極用の生体接触層を形成できる生体電極組成物を提供する。【解決手段】スルホン酸塩に結合するシルセスキオキサンを含有する生体電極組成物であって、前記スルホン酸塩が下記一般式（１）で示されるものであることを特徴とする生体電極組成物。（式中、Ｒ１は、炭素数１...

    生体電極組成物、生体電極、及び生体電極の製造方法

  9. 技術 生体電極組成物、生体電極、及び生体電極の製造方法

    【課題】導電性及び生体適合性に優れ、軽量であり、かつ低コストで製造することができ、水に濡れても乾燥しても導電性が大幅に低下することがない生体電極用の生体接触層を形成できる生体電極組成物を提供する。【解決手段】スルホンイミド塩に結合するシルセスキオキサンを含有する、下記一般式（１）で示される生体電極組成物。式中、Ｒ１は炭素数１〜２０の直鎖状、分岐状、環状のアルキレン基で...

    生体電極組成物、生体電極、及び生体電極の製造方法

  10. 技術 レジスト材料及びパターン形成方法

    【課題】高感度であり、かつＬＷＲやＣＤＵが改良されたレジスト材料、及びこれを用いるパターン形成方法を提供する。【解決手段】下記式（Ａ）で表される化合物を含むレジスト材料。

  11. 技術 化学増幅レジスト材料及びパターン形成方法

    【課題】増感効果が高く、酸拡散を抑える効果も有し、解像性、ＬＷＲ、ＣＤＵが良好な化学増幅レジスト材料、及びこれを用いるパターン形成方法を提供する。【解決手段】ヨウ素原子又は臭素原子で置換された芳香環を有するカルボン酸のアンモニウム塩を含むクエンチャー、及び酸発生剤を含む化学増幅レジスト材料。

  12. 技術 レジスト材料及びパターン形成方法

    【課題】ポジ型レジスト材料においてもネガ型レジスト材料においても、高感度かつＬＷＲやＣＤＵが小さいレジスト材料、及びこれを用いるパターン形成方法を提供する。【解決手段】ベースポリマー及びクエンチャーを含むレジスト材料であって、前記クエンチャーが、ヨウ素原子で置換された芳香環がエステル結合及びエーテル結合から選ばれる少なくとも１種を含んでいてもよい炭素数１〜２０の２価炭...

  13. 技術 伸縮性膜及びその形成方法

    【課題】優れた伸縮性と強度を有し、かつ膜表面の撥水性にも優れた伸縮性膜及びその形成方法を提供する。【解決手段】伸縮性膜であって、フッ素原子を有する繰り返し単位と、珪素原子を有する繰り返し単位を有するとともに、主鎖にウレタン結合を有する高分子化合物を含有する樹脂の硬化物であることを特徴とする伸縮性膜。

    伸縮性膜及びその形成方法

  14. 技術 生体電極組成物、生体電極、及び生体電極の製造方法

    【課題】導電性及び生体適合性に優れ、軽量であり、かつ低コストで製造することができ、水に濡れても乾燥しても導電性が大幅に低下することがない生体電極用の生体接触層を形成できる生体電極組成物を提供する。【解決手段】フルオロスルホン酸塩に結合するシリコーンを含有する生体電極組成物であって、前記フルオロスルホン酸塩が下記一般式で示されるものであることを特徴とする生体電極組成物。...

    生体電極組成物、生体電極、及び生体電極の製造方法

  15. 技術 生体電極組成物、生体電極、及び生体電極の製造方法

    【課題】導電性及び生体適合性に優れ、軽量、かつ低コストで、水に濡れても乾燥しても導電性が大幅に低下することがない生体電極の生体接触層用の電極組成物を提供する。【解決手段】Ｎ−カルボニルスルホンアミド塩に結合するシルセスキオキサンを含有する生体電極組成物であって、前記Ｎ−カルボニルスルホンアミド塩が下記一般式（１）で示されるものであることを特徴とする生体電極組成物。（式...

    生体電極組成物、生体電極、及び生体電極の製造方法

  16. 技術 生体電極組成物、生体電極、及び生体電極の製造方法

    【課題】導電性及び生体適合性に優れ、軽量であり、かつ低コストで製造することができ、水に濡れても乾燥しても導電性が大幅に低下することがない生体電極用の生体接触層を形成できる生体電極組成物を提供する。【解決手段】下記一般式（１）で示されるスルホンイミド塩に結合するシリコーンを含有する生体電極組成物。（式中、Ｒ１は、炭素数１〜２０のアルキレン基であり、芳香族基、エーテル基、...

    生体電極組成物、生体電極、及び生体電極の製造方法

  17. 技術 生体電極組成物、生体電極、及び生体電極の製造方法

    【課題】導電性及び生体適合性に優れ、軽量であり、かつ低コストで製造することができ、水に濡れても乾燥しても導電性が大幅に低下することがない生体電極用の生体接触層を形成できる生体電極組成物の提供。【解決手段】（１）で示されるスルホンアミド塩に結合するシリコーンを含有する生体電極組成物。（Ｒ１は、炭素数１〜２０の直鎖状、分岐状、環状のアルキレン基であり、芳香族基、エーテル基...

    生体電極組成物、生体電極、及び生体電極の製造方法

  18. 技術 生体電極組成物、生体電極、及び生体電極の製造方法

    【課題】導電性及び生体適合性に優れ、軽量であり、かつ低コストで製造することができ、水に濡れても乾燥しても導電性が大幅に低下することがない生体電極用の生体接触層を形成できる生体電極組成物を提供する。【解決手段】（Ａ）イオン性材料、及び（Ｃ）金属粉を含有する生体電極組成物であって、前記（Ａ）成分が、フルオロスルホン酸、フルオロスルホンイミド、及びフルオロスルホンアミドのう...

    生体電極組成物、生体電極、及び生体電極の製造方法