田村翔 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】洗浄装置を改善することにある。【解決手段】基板ホルダを洗浄するための洗浄装置であって、 前記基板ホルダを収容する槽と、 前記槽内に洗浄液を供給する洗浄液供給部と、 前記基板ホルダに付着した洗浄液を吸引する平板状の吸引プレートであって、表面と、前記表面に設けられた1又は複数の開口部と、前記1又は複数の開口部に連絡され真空源と接続可能な内部流路とを有する、吸...

    洗浄装置、めっき装置、洗浄方法、乾燥装置

  2. 【課題】めっき槽で使用される位置調整装置を改善することにある。【解決手段】めっき槽に配置される複数の部材の位置を調整する位置調整装置であって、 前記めっき槽の基板ホルダが設置される位置に設置される第1治具を備え、 前記第1治具は、 第1調整対象との距離を測定する光学センサと、前記光学センサからの光を反射してその方向を変更するミラーと、を含む少なくとも1つの第1測...

    位置調整装置、めっき装置の調整方法

  3. 【課題】長期にわたり高い水準の反応収率を維持できる不飽和ニトリルの製造方法を提供する。【解決手段】 流動層反応器における原料ガス供給口上に形成される触媒濃厚層に原料ガスを供給し、気相接触アンモ酸化反応により生成ガスを得る工程と、 前記流動層反応器に設置されたサイクロンで前記生成ガスと前記触媒とを分離し、分離された触媒を前記触媒濃厚層に戻すと共に前記生成ガスを前記流...

    不飽和ニトリルの製造方法

  4. 【課題】既存の熱システムのエネルギー効率の向上を図る。【解決手段】被加熱設備及び被除熱設備の位置情報、並びに被加熱流体と被除熱流体の温度及び流量に関する情報を記憶手段に記憶する。記憶手段に記憶された位置情報並びに温度及び流量に関する情報に基づき、第1の熱システムにおいて被加熱流体の加熱と被除熱流体の除熱に要する第1の運転コストOC1と、第2の熱システムにおいて被除熱流...

    熱システムの設計方法及び改造方法