田中裕介 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】貼り合わせに適したパッドを提供することが可能な半導体装置およびその製造方法を提供する。【解決手段】一の実施形態によれば、半導体装置は、第1配線層と、前記第1配線層上に設けられた第1絶縁膜と、前記第1絶縁膜内で前記第1配線層上に設けられ、パラジウム、白金、および金の少なくともいずれかを含む第1金属部分と、前記第1絶縁膜内で前記第1金属部分上に設けられた第2配線層...

    半導体装置およびその製造方法

  2. 【課題】アンバランスドマグネトロンスパッタリング成膜技術の低温及び高速成膜という利点を生かして軸受け用ボール又はローラのような多数の小さな被成膜体の表面に均一に且つ疵の発生を防止して成膜することができるアンバランスドマグネトロンスパッタリング成膜装置及び方法を提供する。【解決手段】成膜用原料が設置される1対のカソードに対する位置に、基板が設置されており、この基板は、回...

    アンバランスドマグネトロンスパッタリング成膜装置及び方法

  3. 【課題】ワーク裏面の汚れを十分に防止しつつ、レーザ加工機のランニングコストの低減、及びレーザ加工機の構成の簡略化を図ること。【解決手段】各収容室14のY軸方向の両側の内壁部14fには、粉塵を含む空気を吸気する吸気口16がそれぞれ形成されている。各収容室14内には、ワークWの裏面側における気流を整流する2つの第1整流板54がX軸方向に沿って横断するように設けられている。...

    レーザ加工機