田中均 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】室圧制御システムの試運転調整時において、局所排気風量が変更された場合でも、ボリュームダンパのダンパ開度を試行錯誤を繰り返しながら細かく調節する作業を省くことができ、手間と時間とを要せずにクリーンルームの室圧を目標室圧に保持することができる室圧制御システムを提供する。【解決手段】室圧制御システム10Aでは、第1風量センサ20が測定した還気ダクト内風量が還気ダクト...

    室圧制御システム