瀧澤照夫 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】電極指の加工精度を向上させ、高性能な慣性センサーを提供すること。【解決手段】慣性センサーは、Y軸に延在する第1固定電極指412a及び第2固定電極指412bと、第1固定電極指412aと第2固定電極指412bとの間に位置し、X軸に変位可能な可動電極指611と、を備え、可動電極指611は、第1固定電極指412aと対向する第1部分611aと、第1部分611aと第2固定...

    慣性センサー、慣性センサーの製造方法、電子機器及び移動体