渡辺好章 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】簡単な手段によって任意の基板に、原子密度の高い面(たとえば、六方晶系結晶のc軸に垂直な結晶面)の成長を抑制するように結晶を配向させる。【解決手段】基板28の表面の一部又は全体に導電膜38が形成されている。この基板は、ターゲット22に対向させて基板ホルダ27に設置され、導電膜38をグランドに接続される。ターゲット22から叩き出されたスパッタ粒子は基板28の表面に...

    薄膜の配向制御方法及び薄膜製造方法