浦野文良 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】より実用的なレジスト用酸発生剤及び光カチオン性重合開始剤として使用し得るスルホニウム塩化合物の提供。【解決手段】本発明は、一般式[1]又は[3]で示されるトリフェニルスルホニウム塩化合物。(式中、R1及びR2は夫々独立して水素原子又は低級アルキル基を表し、少なくとも一方は低級アルキル基を表し、n個のR3は夫々独立してアルキル基を表し、nは0〜3の整数を表し、i...

    スルホニウム塩化合物

  2. 【構成】一般式[I]【化1】で示される重合体と、電子ビームの照射によって酸を発生する事ができる酸発生剤と、これ等を溶解可能な溶剤を含んで成る事を特徴とするレジスト材料とこれを用いた微細パターン形成方法。【効果】本発明のレジスト材料を電子線レジストとして使用する事により、高感度で、高解像度、且つ安定したパターン寸法を維持したポジ型のレジストパターンを形成を出来る。特に本...

    微細パターン形成材料及びパターン形成方法