浅野光代 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】パターンのサイズおよび形状による影響を抑えてパターンの仕上がりを評価することができるパターン形状計測方法を提供する。【解決手段】実施形態によれば、画像データが取得される。前記画像データからパターンを構成する要素の輪郭を抽出した輪郭データが取得される。前記計測対象の設計データおよび前記計測対象のパターンを指定する計測対象データが取得される。前記輪郭データと前記計...

    パターン形状計測方法