沖野輝昭 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】照明光学系を精度よく調整することができるEUV露光装置を提供する。【解決手段】EUV露光装置は、EUV光源からのEUV光束を入射するように構成され、前記光源からの光を被照射面に導く複数の反射ミラーと、前記複数の反射ミラーの少なくとも一つの反射ミラーの位置および傾きを調整する反射ミラー調整機構と、を備える。EUV露光装置は、前記EUV光源が発する光の波長と異なる...

    EUV露光装置、露光方法およびデバイス製造方法

  2. 【課題】電子シャッタおよびメカニカルシャッタを備えることなく画像に発生するスミアを抑える。【解決手段】EUV光またはX線用撮像装置は、EUV光またはX線を撮像して画像を生成する撮像部と、撮像部により第1の露光時間で撮像を行って生成した第1の画像と、撮像部により第1の露光時間と異なる第2の露光時間で撮像を行って生成した第2の画像との差分画像を取得する取得部とを備える。ま...

    EUV光またはX線用撮像装置およびEUV露光装置