沖本明道 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】線状電極と筒状電極を有する例えば同軸円筒型のリアクタを用いたパルスコロナ放電によるプラズマ処理を効率よく行えるようにして、プラズマ処理の適用範囲を広げる。【解決手段】プラズマ処理装置10は、直流入力電圧Vinの供給によって高電圧パルスVL(又は高電圧パルスVLを含む高電圧パルス列Pc)を発生するパルス電源12と、該パルス電源12に接続され、該パルス電源12にて...

    プラズマ処理装置