池田信一 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】 機械的加工を必要とせずに反射部材の表裏を識別する方法を提供する。【解決手段】 測定セルと、測定セルに入射した光を反射する反射部材であって第1の面および第2の面を有する透光性プレートと透光性プレートの第1の面のみに形成された反射層とを有する反射部材と、測定セルから出射した光を検出する光検出器とを備える濃度測定装置において行う反射部材の表裏判別方法であって、...

    反射部材の表裏識別方法

  2. 【課題】 コントロール弁のシートリークを検知する。【解決手段】 絞り部(22)、コントロール弁(Vc)、第1圧力センサ(24)、第2圧力センサ(25)、流入圧力センサ(23)を含む流量制御装置(10)と、下流開閉弁(V2)と、上流開閉弁(V1)とを備える流体システム(100)におけるコントロール弁のシートリークの検知方法は、流入圧力が下流圧力よりも大きい状態におい...

    コントロール弁のシートリーク検知方法

  3. 【課題】HF等の活性ガスがチャンバ内壁へ吸着又は反応する問題を考慮し、Use Pointで常に目標の活性ガス流量が得られるよう、チャンバへ供給する活性ガスの流量を補正するシステムを提供する。【解決手段】 半導体基板を活性ガスで処理するチャンバ6へ該活性ガスを供給するシステム100であって、前記活性ガスの供給量を制御する質量流量制御装置1と、該質量流量制御装置を制御す...

    活性ガス供給システムとそれを用いた半導体製造装置

  4. 【課題】装置材料に吸着等して消費されるHF等の活性ガスの量の評価を、簡便かつ低コストで行うことのできる方法を提供する。【解決手段】 本発明の方法は、質量流量制御装置4から対象のガスを導入可能なステンレス鋼製のチャンバ5を用いて、該チャンバ5の内部に対象材料からなる試験片7を配置し、ガス封止テストと、実流量テストの少なくとも一方を実施する、方法であり、前記ガス封止テス...

    活性ガス反応量評価方法及びこれに用いる評価装置