江藤剛治 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】多数の収束電子ビームを生成するコンパクトな装置により,電子ビームの数だけの倍数の高速電子ビーム観察や加工の手段を提供する。【解決手段】多数の孔の開いた永久磁石を用いた多孔磁界レンズにより電子ビームの配列を生成する。収束位置が孔の中心位置から円周方向にずれるので、このことを考慮した収束電子ビームアレイの生成システムとする。

    荷電粒子ビームアレイの収束手段

    • 公開日:2020/06/04
    • 出願人: 江藤剛治 、...
    • 発明者: 江藤剛治 、...
    • 公開番号:2020-087895号