永井孝一 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】水素による強誘電体キャパシタの劣化をより一層抑制することができる半導体装置及びその製造方法を提供する。【解決手段】半導体装置100は、基板101と、基板101の表面に形成されたトランジスタTrと、トランジスタTrの上方に形成された第1の絶縁膜111と、第1の絶縁膜111上に形成された第2の絶縁膜112と、第2の絶縁膜112上に形成された第3の絶縁膜113と、第...

    半導体装置及びその製造方法