水上恵文 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】加工後の基板表面を平滑にすることができ、かつシンプルである基板の加工装置、および該加工装置を用いた基板の加工方法、並びに該加工方法を用いた加工基板の製造方法を提供する。【解決手段】本発明の基板の加工装置は、砥粒12aの噴射方向と基板1の加工面との角度が脆性加工における角度となるように、砥粒12aの噴射部材12が配置された基板1の加工装置10であって、砥粒12a...

    基板の加工装置および基板の加工方法、並びに加工基板の製造方法