武中通暁 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】各々のプローブピンに流れる電流量のばらつきを抑制することが可能な半導体装置の検査装置および検査方法を得る。【解決手段】ベアチップ検査装置20は、ベアチップ10Dの表面1aの画像から表面外形1を抽出すると共にベアチップ10Dの裏面2aの画像から裏面外形2を抽出し、裏面外形2の対向する二辺の中点を結ぶ線X−Xと裏面外形2の別の対向する二辺の中点を結ぶ線Y−Yの交点...

    半導体装置の検査装置および検査方法