橋口原 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】可動板が形成された可動側基体を上側および下側の固定側基体で挟むように結合する構成であるため、正確な位置合わせおよび工数増加を抑えたアクチュエータを提供する。【解決手段】アクチュエータ1は、固定電極3A、3Bおよび可動電極4A、4Bを備える静電駆動機構と、静電駆動機構により駆動される第1可動部と、第1可動部を弾性支持する第1弾性支持部6と、固定電極3A、3Bおよ...

    アクチュエータ、シャッタ装置、流体制御装置、スイッチおよび2次元走査型センサ装置