樫野俊雄 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】素子基板の構成材料と同じシリコンからなるオリフィスプレートを用いて液体吐出ヘッドを製造する際に信頼性の高い長尺の液体吐出ヘッドを製造することを可能にする。【解決手段】オリフィスプレートを作製するためのシリコン基板21の表面に、パターニングされたAl層22を形成し、Al層22をマスクとしてシリコン基板21のドライエッチングを行うことで、シリコン基板21の表面にお...

    液体吐出ヘッドの製造方法、液体吐出ヘッド、ヘッドカートリッジ、液体吐出記録装置、シリコンプレートの製造方法、およびシリコンプレート