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【課題】素子基板の構成材料と同じシリコンからなるオリフィスプレートを用いて液体吐出ヘッドを製造する際に信頼性の高い長尺の液体吐出ヘッドを製造することを可能にする。【解決手段】オリフィスプレートを作製するためのシリコン基板２１の表面に、パターニングされたＡｌ層２２を形成し、Ａｌ層２２をマスクとしてシリコン基板２１のドライエッチングを行うことで、シリコン基板２１の表面にお...
