森健雄 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】歩留まりを向上する。【解決手段】実施形態によれば、基板30の上方に積層された複数のメモリセルMC及び複数のメモリセルのゲートにそれぞれ接続され、第1方向に延伸する複数のワード線WLを有するメモリセルアレイ11と、メモリセルアレイ上方の第1領域100及び第1領域とは異なる第2領域200を含み、酸化シリコンよりも高い圧縮ストレスを有する第1膜53とを含む。第1領域...

    半導体記憶装置