森伸一郎 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】剥離テープを用いることなく粘着テープをウエハから精度よく剥離除去することのできる粘着テープ剥離方法および粘着テープ剥離装置を提供する。【解決手段】剥離ユニット23Aは、保護テープPTの周縁部分を協働して把持する第1把持部材29Aと第2把持部材31とを備えている。第1把持部材29Aは先鋭な先端部51を備えており、先端部51をウエハWと保護テープPTとの接着界面K...

    粘着テープ剥離方法および粘着テープ剥離装置