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【課題】試行錯誤により制御条件を得るのは効率が悪い。【解決手段】成膜装置の制御条件を示す制御条件データを取得する制御条件取得部と、制御条件データが示す制御条件で動作させた成膜装置によって成膜された膜の特性を示す膜特性データを取得する膜特性取得部と、取得された制御条件データおよび膜特性データを含む学習データを用いて、目標とする膜の特性を示す目標膜特性データを入力したこと...
【課題】発光強度を高めることができる紫外線発光素子を提供する。【解決手段】紫外線発光素子１は、Ａｌを含む窒化物半導体を含む基板２と、基板２上に形成され、導電性を有し、ＡｌおよびＧａを含む第１導電型窒化物半導体層３と、第１導電型窒化物半導体層３上に形成され、ＡｌおよびＧａを含む窒化物半導体を含む発光層４と、発光層４上に形成され、第１導電型窒化物半導体層と異なる導電性を有...
