柴田典義 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】不純物濃度の高い半導体単結晶基板の欠陥を電子線誘起電流法によって測定を可能とする方法を提供する。【解決手段】半導体単結晶基板2上に観察層1をエピタキシャル成長させ、その上にショットキー電極層3を設けることによって作成した観察試料に電子線を照射して発生した誘起電流を検出するに当たって、観察層1の層厚を電子線の飛程以下とし、且つ、ショットキー電極層3、観察層1、半...

    半導体単結晶基板の欠陥観察方法