柴崎祐一 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】加工精度の良好な三次元造形物を形成する造形装置を提供する。【解決手段】造形装置は、ビームを射出する集光光学系82を含むビーム照射部520と、ビーム照射部520からのビームで照射される造形材料を供給する材料処理部530と、を有するビーム造形システム500と、ワークW(又はテーブル12)上の対象面TASとビーム照射部520からのビームとを相対的に移動させつつ材料処...

    造形装置及び造形方法

  2. 【課題】スループットを低下させることなく、要求される重ね合わせ精度を実現するのに十分な数のマークを検出する計測システムを提供する。【解決手段】マイクロデバイスの製造ラインで用いられる計測システム(500)は、それぞれ基板に対する計測処理を行なう複数の計測装置(1001〜1003)と、複数の計測装置を制御可能な制御装置(530)と、を備え、前記複数の計測装置(1001〜...

    計測システム及び基板処理システム、並びにデバイス製造方法

  3. 【課題】長期に渡ってステージの位置を高精度で計測する。【解決手段】 制御装置は、基板の露光動作において、ステージWST1の移動によってスケール部材のそれぞれ反射型格子RGが形成される4つの部分211、212、213、214とそれぞれ対向するようにステージWST1に設けられる4つのヘッド群611、612、613、614で取得されるXY面内で互いに直交する2方向の少なく...

    露光装置及び露光方法、並びにデバイス製造方法

  4. 【課題】ステージ上に搭載されたヘッドを切り換えて使用することによってステージを安定して駆動制御する。【解決手段】ステージWST1は、4つの領域A1、A2、A3、A4の1つから、領域A0を介して、4つの領域A1、A2、A3、A4のうち前記1つの領域と異なる領域に移動され、領域A0において4つのヘッドによってステージの位置情報が計測されるように、ステージが領域A0内にいる...

    露光装置及び露光方法、並びにデバイス製造方法