林昭宏 さんに関する公開一覧
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【課題】精度良く、早期にティーチング作業を完了することが可能で、簡易で、装置内のクリーン度を担保できるティーチング方法を提供する。【解決手段】基板を支持して搬送するロボットによる、基板処理室に設けられた基板載置部に対する基板の搬送動作において、ロボットの基板を支持する支持部の辿るべき経路を、ロボットを制御する制御部にティーチングするティーチング装置であって、基板の代わ...
- 公開日:2021/02/25
- 出願人: キヤノントッキ株式会社
- 発明者: 林昭宏 、...
- 公開番号:2021-028098号