松野博光 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】 各種の処理を高品位で行い、かつ、高速度であるいは高効率で行うことが出来る誘電体バリヤ放電ランプを利用した処理方法を提供すること。【解決手段】 上記本発明の目的は、波長が異なる紫外線を放射する第1の誘電体バリヤ放電ランプと第2の誘電体バリヤ放電ランプにより、被処理物と少なくとも酸素を含む処理用流体とを接触させ第1の誘電体バリヤ放電ランプからの紫外線を照射し...

    誘電体バリヤ放電ランプを使用した処理方法

  2. 【課題】 各種の処理を高品位で行い、かつ、高速度であるいは高効率で行うことが出来る誘電体バリヤ放電ランプを利用した処理方法を提供すること。【解決手段】 上記本発明の目的は、波長が異なる紫外線を放射する第1の誘電体バリヤ放電ランプと第2の誘電体バリヤ放電ランプにより、被処理物と少なくとも酸素を含む処理用流体とを接触させ第1の誘電体バリヤ放電ランプからの紫外線を照射し...

    誘電体バリヤ放電ランプを使用した処理方法

  3. 【課題】 各種の処理を高品位で行い、かつ、高速度であるいは高効率で行うことが出来る誘電体バリヤ放電ランプを利用した処理方法を提供すること。【解決手段】 上記本発明の目的は、波長が異なる紫外線を放射する第1の誘電体バリヤ放電ランプと第2の誘電体バリヤ放電ランプにより、被処理物と少なくとも酸素を含む処理用流体とを接触させ第1の誘電体バリヤ放電ランプからの紫外線を照射し...

    誘電体バリヤ放電ランプを使用した処理方法

  4. 【課題】 各種の処理を高品位で行い、かつ、高速度であるいは高効率で行うことが出来る誘電体バリヤ放電ランプを利用した処理方法を提供すること。【解決手段】 上記本発明の目的は、波長が異なる紫外線を放射する第1の誘電体バリヤ放電ランプと第2の誘電体バリヤ放電ランプにより、被処理物と少なくとも酸素を含む処理用流体とを接触させ第1の誘電体バリヤ放電ランプからの紫外線を照射し...

    誘電体バリヤ放電ランプを使用した処理方法

  5. 【課題】 各種の処理を高品位で行い、かつ、高速度であるいは高効率で行うことが出来る誘電体バリヤ放電ランプを利用した処理方法を提供すること。【解決手段】 上記本発明の目的は、波長が異なる紫外線を放射する第1の誘電体バリヤ放電ランプと第2の誘電体バリヤ放電ランプにより、被処理物と少なくとも酸素を含む処理用流体とを接触させ第1の誘電体バリヤ放電ランプからの紫外線を照射し...

    誘電体バリヤ放電ランプを使用した処理方法

  6. 技術 処理装置

    【課題】この発明は、被処理物を汚染することなく、高効率の活性種を生成することにより処理速度を改善した処理装置を提供することにある。【解決手段】この発明の処理装置は、水素原子あるいは酸素原子を含む分子ガスを触媒を用いて分解し、該触媒により分解生成されたガスを用いて被処理物を処理する処理装置において、該触媒の持つ仕事関数を超える波数の光を該触媒に照射する手段を具備したこと...

    処理装置

  7. 技術 処理装置

    【課題】この発明は、従来の活性化された酸素による処理とは異なり、被処理物への酸化の影響を抑制した処理装置を提供することにある。更には、真空紫外光を利用した処理装置であって活性化された酸素による処理では充分な処理速度が得られないような処理、例えばイオン注入されたレジストの灰化・除去等を可能とする処理装置を提供することを目的とする。【解決手段】真空紫外光を放射する光源と、...

    処理装置

  8. 技術 処理措置

    【課題】この発明は、活性酸素による処理、例えば乾式洗浄、レジストの灰化・除去、Si表面の酸化などの処理を行う場合に紫外線、または真空紫外線を用い、従来より処理速度の早い処理装置を提供することにある。【解決手段】この発明は、真空紫外線を放射する光源と、該光源を具備した放電容器及び/または処理空間を備え、光を照射することにより活性化されるガスを導入する導入口を配置した処理...

    処理措置