松谷幸 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】本発明はX線顕微鏡及びX線を用いた顕微方法に関し、X線画像の分解能を向上させることができるX線顕微鏡及びX線を用いた顕微方法を提供することを目的としている。【解決手段】電子ビームEBを集束して照射する電子ビーム照射手段と、該電子ビーム照射手段からの集束電子ビームの照射に応じてX線発生源となる薄膜11と、該薄膜11の第1の面に照射された集束電子ビームによって該薄...

    X線顕微鏡及びX線を用いた顕微方法。