松永浩一 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】分子自己組織化(MSA)化学物質の量を抑制し、化学物質のコストを削減する技術を提供する。【解決手段】スピンコーティング処理システムは、MSA化学物質を受容し、これを基板にスピンコーティングするスピンコーティングモジュール104と、スピンコーティング処理の後に、基板を熱処理するアニールモジュール112とを有する。スピンコーティング処理システムは、スピンコーティン...

    基板への周期的オルガノシリケートまたは自己組織化モノレイヤのスピンオンコーティングのためのシステムおよび方法

  2. 【課題】フォトリソグラフィー工程において露光処理を適切な位置に行う。【解決手段】ステップS10においてウェハの表面にレジスト液を塗布し、ステップS17においてウェハの表面上の露光されたレジスト膜を現像するウェハ処理方法であって、ステップS14の露光処理前において、ウェハの裏面と、露光処理時にウェハの裏面を保持する保持面との摩擦を低減する摩擦低減膜を、当該ウェハの裏面に...

    基板処理装置、基板処理方法及びコンピュータ記憶媒体