松本俊行 さんに関する公開一覧
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【課題・解決手段】実施形態に係る電解処理装置(1、1A)は、被処理基板に電解処理を行う電解処理装置であって、基板保持部(10)と、電解処理部(20)とを備える。基板保持部(10)は、被処理基板を保持する絶縁性の保持基体(11)と、保持基体(11)の内部に設けられ負電圧が印加される間接陰極(12)とを有する。電解処理部(20)は、基板保持部(10)に向かい合って設けられ...
- 公開日:2019/11/07
- 出願人: 東京エレクトロン株式会社
- 発明者: 星野智久 、...
- 公開番号:WO2018-142955号