松本俊行 さんに関する公開一覧

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  1. 技術 電解処理装置および電解処理方法

    【課題・解決手段】実施形態に係る電解処理装置（１、１Ａ）は、被処理基板に電解処理を行う電解処理装置であって、基板保持部（１０）と、電解処理部（２０）とを備える。基板保持部（１０）は、被処理基板を保持する絶縁性の保持基体（１１）と、保持基体（１１）の内部に設けられ負電圧が印加される間接陰極（１２）とを有する。電解処理部（２０）は、基板保持部（１０）に向かい合って設けられ...

    電解処理装置および電解処理方法