松本俊行 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題・解決手段】実施形態に係る電解処理装置(1、1A)は、被処理基板に電解処理を行う電解処理装置であって、基板保持部(10)と、電解処理部(20)とを備える。基板保持部(10)は、被処理基板を保持する絶縁性の保持基体(11)と、保持基体(11)の内部に設けられ負電圧が印加される間接陰極(12)とを有する。電解処理部(20)は、基板保持部(10)に向かい合って設けられ...

    電解処理装置および電解処理方法