村野俊次 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】大サイズ基板へ、ナノメーターオーダーの薄膜を形成可能とし、線幅1μm程度の高解像度パターンを形成できるとともに、省工数、低コスト、低ランニングコストで、媒質として、粉体、液体、ペースト、ガスなどすべての材料を使用できる薄膜形成装置、パターン形成装置、洗浄装置を提供すること。【解決手段】衝突させて均一化する空間と、この媒質を加速する空間と、媒質輻輳空間とを有する...

    ライン状均一吐出装置、霧化装置、薄膜形成装置、パターン形成装置、三次元造形装置および洗浄装置。