村田正直 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】器内の環境を良好に保ちつつ、不要なパージ処理を省くことが可能な保管装置を提供する。【解決手段】保管装置(1)は、容器(F)を保管する保管棚(11)と、保管棚に設けられ、容器にパージ処理を行うことが可能なパージ装置(12)と、保管棚への容器の搬入元、及び保管棚からの容器の搬出先の少なくとも一方に応じて、パージ処理の要否および条件の少なくとも一方を決定するパージ決...

    保管装置および保管方法

  2. 【課題・解決手段】容器のガス導入口あるいはパージノズルの周囲に付着したパーティクルを除去することが可能なパージ装置を提供するため、パージ装置(4)は、ガス(G1)を吹き出すことが可能なノズル(31)と、パージ対象の容器(F)の底面(Fb)とノズルとが対向した状態で、ノズルからガスを吹き出させるパージ制御部(34)と、を備える。

    パージ装置、パージストッカ、及びクリーニング方法

  3. 【課題】パージガスを節約しつつ適切なパージを行うことが可能なパージ装置を提供する。【解決手段】パージ装置(4)は、パージ対象の容器(F)にパージガス(G1)を供給する第1のパージノズル(41)と、第1のパージノズルでのパージ処理が開始されるよりも前に容器の内部状態を検出する内部状態検出部(8)と、内部状態検出部の検出結果に基づいて、容器に対するパージ条件を決定するパー...

    パージ装置、パージストッカ、及びパージ方法

  4. 【課題】容器の種類に応じてパージを適切に行うことが可能なパージ装置を提供する。【解決手段】パージ装置(4A)は、パージ対象の容器(F)の種類を検出する種類検出部(41)と、種類検出部の検出結果に基づいて、容器に対するパージ条件を決定するパージ制御部(42)と、を備える。

    パージ装置、パージストッカ、及びパージ方法