末吉秀樹 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】 上載せローラによって基板の上面を押圧することによる基板の割れやひびを防止しつつ、基板を搬送することができるようにした基板搬送装置、およびこの基板搬送装置を有する基板処理装置を提供する。【解決手段】 搬送軸21に設けられ基板Wの幅方向両端部の下面を支持する端部支持ローラ22aと、搬送軸21の基板幅方向両端部を除く部分の下面を支持する複数の搬送ローラ22と、...

    基板搬送装置および基板処理装置