木村雅規 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】エピタキシャルウエーハの膜厚のばらつきを従来より更に小さくするために、サセプタの公転の有無に拘らずウエーハを自由に自転させることができ、また気相成長条件が変動してもウエーハの自転に影響を出さずに気相成長を行うことができる気相成長装置を提供する。【解決手段】リアクタ11と、該リアクタの内部に配置されたバレル型サセプタ12と、ウエーハWを装着するために該サセプタの...

    気相成長装置および化合物半導体基板の製造方法