木内徹 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題・解決手段】長尺のシート基板を長尺方向に搬送して、シート基板に所定の処理を施す基板処理装置であって、シート基板の長尺方向の一部分ごとに所定の処理を施す処理機構と、処理機構を通るシート基板に所定の張力を与えつつ、シート基板を所定速度で長尺方向に搬送する搬送機構と、シート基板の搬送経路中の特定位置に配置され、シート基板を特定位置に係留可能な係留機構と、シート基板の搬...

    基板処理装置および基板処理方法

  2. 【課題】フィルム状の基板が連続した状態で供給されデバイスパターンを走査露光するにおいて、振動の影響を低減する。【解決手段】可撓性を有する長尺の基板Pを長尺方向に搬送して、基板Pにデバイスを形成するデバイス製造システム1は、基板Pに対して露光処理を行う基板処理装置U3と、基板処理装置U3に基板Pを供給する基板供給装置2を有する。基板供給装置2は、ロール状に基板Pが巻回さ...

    デバイス製造システムおよびデバイス製造方法

  3. 【課題】マスクのパターンを高精度に基板に露光できるマスクユニットを提供する。【解決手段】露光装置に装着して使われるマスクユニットであって、所定の軸線から一定半径の外周面を有する円筒状のマスク保持部と、湾曲可能な薄いガラス材に露光すべきマスクパターンが形成されたシートマスクをマスク保持部の外周面に巻き付ける際に、シートマスクを所定位置に係合する為の係合部と、シートマスク...

    マスクユニット及び露光装置

  4. 【課題・解決手段】可撓性を有する長尺のシート基板(P)の一部分を、円筒状の外周面の周方向に沿って巻き付けて支持する回転ドラム(DR)であって、中心軸(AXo)から一定の半径の円筒状の外周面を有する円筒体(50)と、円筒体(50)の外周面に向けて投射されて、円筒体(50)の外周面の一部に形成された開口部(501)に入射したビーム(LBn)の強度に対応した信号を出力する光...

    基板支持装置、露光装置、および、パターニング装置

  5. 【課題・解決手段】反射面の角度が変わるポリゴンミラー(PM)によって偏向されたビーム(LBn)を基板(P)に投射する走査ユニット(Un)は、ポリゴンミラー(PM)で最初に反射された第1の反射ビーム(LBn)を反射してポリゴンミラー(PM)に向かう第2の反射ビーム(LBn)を生成するとともに、ポリゴンミラー(PM)の偏向方向と交差した非偏向方向に関して第2の反射ビーム(...

    ビーム走査装置およびパターン描画装置