望月勲 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】クライオポンプ装置の誤配線を見つけ出すことで、誤配線から生じる故障や誤動作等を未然に防ぐこと。【解決手段】 クライオポンプ装置は、クライオポンプ内における温度及び圧力の少なくともいずれか一方を検出するセンサと、クライオポンプ内の温度及び圧力の少なくともいずれか一方の変化をセンサの検知結果に基づき検知することで、コントローラとクライオポンプとの間の接続状態を判...

    クライオポンプ装置及びその動作方法

  2. 【課題】トラップ容器を真空処理装置と主排気ポンプの間に配置したままで、冷却パネル及び冷凍機の取り外しを可能にする。【解決手段】クライオトラップ1は、少なくとも気体を凝縮して排気する冷却パネル6と、冷却パネル6を冷却する冷凍機2とを有する冷却ユニットがトラップ容器7に支持され、トラップ容器7を介して真空処理装置と主排気ポンプに結合される。トラップ容器7の開口部13から冷...

    クライオトラップ