星亮二 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】効率的かつ簡便にシリコン単結晶中の炭素濃度を推定する方法を提供する。【解決手段】CZシリコン単結晶中の不純物を分析する方法であって、CZシリコン単結晶育成装置のルツボ内にチャージしたシリコン原料を溶融し、該シリコン原料の溶融完了後かつシリコン単結晶育成の直胴工程を開始する前までに、合成石英製のサンプリング容器1を用いて、前記ルツボ内にあるシリコン融液をサンプリ...

    不純物分析方法及びシリコン単結晶の製造方法