手操弘典 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】処理データ量を削減し、描画処理のスループットを向上させる。【解決手段】一実施形態に係るマルチ荷電粒子ビーム描画装置は、基板の描画領域を複数のブロックに仮想分割し、少なくとも1つの図形を含むセルを、基板の撓みにより位置誤差を補正するための補正データに基づいて配置位置を移動させて、前記複数のブロックに振り分けるセルデータ振り分け部と、前記ブロックをメッシュ状に仮想...

    マルチ荷電粒子ビーム描画装置及びマルチ荷電粒子ビーム描画方法