戸所秀男 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】電子銃からの電子線を安定して供給すること、すなわち電子線の強度の変動を抑制することを目的とする。【解決手段】電子源と、前記電子源から電子を引き出すための電圧が印加される引出電極と、前記電子源から引き出された電子を加速するための電圧が印加される加速電極とを有する電子銃を備える荷電粒子線装置であって、前記引出電極を加熱する第一加熱部と、前記加速電極を加熱する第二加...

    荷電粒子線装置