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【課題】基板の角部および辺部の中央の付近の押圧力を局所的に調整できる研磨ヘッドを提供する。【解決手段】研磨テーブルに取り付けられた研磨パッドによって角形の基板１２１を研磨するための研磨装置の研磨ヘッド１２０であって、ヘッド本体部２００と、ヘッド本体部２００の、研磨テーブルに対向すべき面に設けられた複数の弾性バッグ２１０と、基板１２１を保持するための基板保持プレート２３...
【課題】四角形の基板を搬送する自動化された装置を提供する【解決手段】一実施形態によれば、四角形の基板を搬送するための基板搬送装置が提供され、かかる基板搬送装置は、基板の下面を支持するように構成される複数の搬送ローラと、前記複数の搬送ローラが取り付けられる複数のローラシャフトと、前記複数のローラシャフトを回転させるためのモータと、前記複数の搬送ローラの上にある基板を、前...
