戸川哲二 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】四辺形の基板を平坦化するためのCMP研磨装置を提供する【解決手段】四辺形の基板を研磨するための研磨装置が提供され、かかる研磨装置は、四辺形の基板を保持するための基板保持部を有し、前記基板保持部は、 基板を支持するための四辺形の基板支持面と、前記基板支持面の少なくとも1つの角部の外側に配置されるリテーナ部材を取り付けるための、取付機構を有する。

    基板の研磨装置

  2. 【課題】ウェーハなどの基板のトップエッジ部の不均一な研磨を防止することができる研磨装置を提供する。【解決手段】研磨装置は、基板を保持するための基板保持面4aを有する保持ステージ4と、基板のトップエッジ部に研磨具を押し付ける研磨ヘッドと、基板のボトムエッジ部を支持するためのエッジ支持面81aを有するサポートリング81と、サポートリング81が固定されたサポートステージ80...

    研磨装置およびサポートリングの管理方法

  3. 【課題】ウェーハなどの基板の表面を適切に研磨することができる装置を提供する。【解決手段】研磨装置は、基板Wの表面を研磨するための複数の研磨具61、および複数の研磨具61にそれぞれ連結された複数の研磨具移動機構71を有する研磨ヘッド50と、研磨ヘッド50をその軸心HPを中心に回転させるヘッド回転機構58とを備える。複数の研磨具移動機構71は、複数の研磨具61を研磨ヘッド...

    基板の表面を研磨する装置および方法、プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体

  4. 技術 研磨装置

    【課題】研磨テープを揺動させて、基板のエッジ部を研磨するときに、研磨テープが押圧部材に対してずれることを防止することができる研磨装置を提供する。【解決手段】研磨装置は、基板Wを保持して回転させる基板保持部1と、研磨テープ7を支持する第1のガイドローラ21および第2のガイドローラ22と、研磨テープ7を基板Wのエッジ部に対して押し付ける押圧部材11を有する研磨ヘッド10と...

    研磨装置