戸川哲二 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】基板の角部および辺部の中央の付近の押圧力を局所的に調整できる研磨ヘッドを提供する。【解決手段】研磨テーブルに取り付けられた研磨パッドによって角形の基板121を研磨するための研磨装置の研磨ヘッド120であって、ヘッド本体部200と、ヘッド本体部200の、研磨テーブルに対向すべき面に設けられた複数の弾性バッグ210と、基板121を保持するための基板保持プレート23...

    研磨ヘッドおよび研磨装置

  2. 【課題】四角形の基板を搬送する自動化された装置を提供する【解決手段】一実施形態によれば、四角形の基板を搬送するための基板搬送装置が提供され、かかる基板搬送装置は、基板の下面を支持するように構成される複数の搬送ローラと、前記複数の搬送ローラが取り付けられる複数のローラシャフトと、前記複数のローラシャフトを回転させるためのモータと、前記複数の搬送ローラの上にある基板を、前...

    基板搬送装置および基板搬送装置を備える基板処理装置