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【課題】フェースアップ式の研磨装置において、ロータリジョイントを介さずに研磨液を供給する。【解決手段】本願は、一実施形態として、下面に研磨パッドを取り付けて用いられる、フェースアップ式の研磨装置のための研磨ヘッドであって、研磨ヘッドの回転軸の周囲に設けられた、液体を受けるための液体リザーバ部と、研磨ヘッドの下面に設けられた、液体リザーバ部により受けられた液体を排出する...
【課題】適切な位置で研磨を終了するために、研磨の終点位置を検知する。【解決手段】一実施形態によれば、機能性チップを備える基板を化学機械的に研磨する方法が提供され、かかる方法は、基板に機能性チップを配置するステップと、前記基板に終点検知要素を配置するステップと、前記機能性チップおよび前記終点検知要素が配置された基板を絶縁材で封止するステップと、前記絶縁材を研磨するステッ...
【課題】ロータリジョイント内を研磨液が通過する基板研磨装置においては、ロータリジョイントのメンテナンスが必要になる。【解決手段】基板を保持するための研磨ヘッドと、表面に第１の開口部が設けられている回転テーブルと、回転テーブルに設けられた研磨液吐出機構と、少なくとも研磨液吐出機構を制御する制御部と、を有する基板研磨装置であって、研磨液吐出機構は、第１のシリンダと、第１の...
