志知広康 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】試料をイオンビームにより加工して断面を形成して,断面を電子顕微鏡で観察する装置に替わり,イオンビームにより加工して断面を形成して,断面をイオン顕微鏡で観察する装置を提供する。【解決手段】イオンビーム顕微鏡と複合するイオンビーム加工装置は、ガリウムを放出する液体金属イオン源、コンデンサレンズ、対物レンズ、イオンビーム走査偏向器、ステンシルマスク、及びこれらを格納...

    ガリウム集束イオンビームとイオン顕微鏡複合装置

  2. 【課題】加工に十分な大電流が得られ、かつイオンビーム電流が安定するガス電界電離イオン源を有するイオンビーム装置を提供する。【解決手段】真空容器15と、真空容器内に設けられたエミッタティップホルダ35と、エミッタティップホルダに接続されたエミッタティップ21と、エミッタティップに対向して設けられた引き出し電極24と、エミッタティップにガスを供給するガス供給部と、真空容器...

    イオンビーム装置