徳富照明 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】熱アシスト磁気ヘッド検査装置において、熱アシスト磁気ヘッドが発生する磁界を測定することにより、熱アシスト磁気ヘッドの近接場光の温度を間接的に計測できるようにする。【解決手段】特定の磁性材料の薄膜の磁気特性の温度依存性を事前に入手しておき、探針の表面に前記特定の磁性材料を形成したカンチレバーを用いて熱アシスト磁気ヘッドが発生した近接場光による微小熱源のすぐ近傍に...

    熱アシスト磁気ヘッド素子の検査方法及びその装置、微小熱源の温度測定方法及びその装置並びにカンチレバーおよびその製造方法

  2. 【課題】近接場光の強度分布をS/N高く検出する。【解決手段】近接場光を測定する方法として、カンチレバー先端の探針がヘッドの発光面の近くにある時と探針が発光面との距離が十分大きい(100nm超)時の光検出系の測定結果の差を取るようにした。また、近接場光の横方向の幅を検出困難の場合、近接場光の横方向の強度分布(スポット幅)の測定方法において、まず縦方向の幅を測定し,その結...

    近接場光検出方法及び熱アシスト磁気ヘッド素子の検査装置

  3. 【課題】近接場光発生領域の発熱による影響を極力低減させた状態で高精度に測定できるようにする。【解決手段】熱アシスト磁気ヘッド検査装置を、先端部に表面に磁性膜が形成された探針を有するカンチレバーを備えた走査型プローブ顕微鏡手段と、熱アシスト磁気ヘッド素子に形成された端子に交流電流を供給すると共に近接場光発光部にパルス駆動電流又はパルス駆動電圧を入射させるプローブユニット...

    熱アシスト磁気ヘッド検査方法及び熱アシスト磁気ヘッド検査装置

  4. 【課題】熱アシスト磁気ヘッドで発生させた磁界と近接場光発生領域とを、効率よく、かつ高精度に測定できるようする。【解決手段】熱アシスト磁気ヘッド検査装置を、先端部に表面に磁性膜が形成された探針を有するカンチレバーを備えた走査型プローブ顕微鏡手段と、熱アシスト磁気ヘッド素子に形成された端子に交流電流を供給すると共に近接場光発光部に駆動電流又は駆動電圧を印加させるプローブユ...

    熱アシスト磁気ヘッド検査方法及び熱アシスト磁気ヘッド検査装置

  5. 【課題】熱アシスト磁気ヘッドを検査する場合に、近接場光発生領域においてカンチレバーの先端部の探針で発生する散乱光を確実に検出できるようにする。【解決手段】熱アシスト磁気ヘッド検査装置を、先端部に表面に磁性膜が形成された探針を有するカンチレバーとを備えた走査型プローブ顕微鏡手段と、熱アシスト磁気ヘッド素子に形成された端子に交流電流を供給すると共に、近接場光発光部にレーザ...

    熱アシスト磁気ヘッド検査方法及び熱アシスト磁気ヘッド検査装置

  6. 【課題】 近接場光発光部と散乱光検出手段の位置関係が最適化される熱アシスト磁気ヘッド検査機を提供する。【解決手段】 先端部に表面に磁性膜が形成された探針を有するカンチレバーを備えた走査型プローブ顕微鏡手段と、XYテーブル上に搭載された熱アシスト磁気ヘッド素子を視野に収めて撮像する撮像手段と、探針が熱アシスト磁気ヘッド素子に形成された近接場光発光部から発生した近接場...

    熱アシスト磁気ヘッド検査方法および熱アシスト磁気ヘッド検査装置

  7. 【課題】 近接場光発光部と散乱光検出手段の位置関係が最適化される熱アシスト磁気ヘッド検査機を提供する。【解決手段】 先端部に表面に磁性膜が形成された探針を有するカンチレバーを備えた走査型プローブ顕微鏡手段と、XYテーブル上に搭載された熱アシスト磁気ヘッド素子を視野に収めて撮像する撮像手段と、探針が熱アシスト磁気ヘッド素子に形成された近接場光発光部から発生した近接場...

    熱アシスト磁気ヘッド検査方法および熱アシスト磁気ヘッド検査装置

  8. 【課題】本発明は、走査による検査時間の短縮し、効率よく磁気ヘッドを検査できる磁気ヘッド検査装置及び磁気ヘッド検査方法を提供する。【解決手段】本発明は、先端に磁性探針を備えた磁気力顕微鏡のカンチレバーを所定周波数で励振し、前記磁性探針を前記磁気ヘッドの書込みヘッドの上を浮上させて、探索範囲を2次元スキャン中に検出された前記カンチレバー手段の励振状態を示す前記書込みヘッド...

    磁気ヘッド検査装置及び磁気ヘッド検査方法

  9. 【課題】製造工程途中のできるだけ早い段階で熱アシスト磁気ヘッドの近接場光発光部の物理形状の検査を行うことができるようにする。【解決手段】試料である熱アシスト磁気ヘッド素子を平面内で移動可能なテーブルに載置し、このテーブルを平面内で移動させながらこのテーブルに載置された試料の表面を探針を備えたカンチレバーを上下方向に振動させることにより短針で試料の表面を走査し、試料の表...

    熱アシスト磁気ヘッド素子の検査方法及びその装置

  10. 【課題】製造工程途中のできるだけ早い段階で熱アシスト磁気ヘッドの近接場光発光部の物理形状の検査を行うことができるようにする。【解決手段】試料である熱アシスト磁気ヘッド素子を平面内で移動可能なテーブルに載置し、このテーブルを平面内で移動させながらこのテーブルに載置された試料の表面に対して一定の距離だけ離れた面内をカンチレバーに固定した探針で走査し、走査しているカンチレバ...

    熱アシスト磁気ヘッド素子の検査方法及びその装置