平野智之 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】リソグラフィー特性が高められ、より良好な形状のレジストパターンを形成できるレジスト組成物の提供。【解決手段】式(a0−1)で表される構成単位30モル%超を有する樹脂成分と、式(b1)で表される酸発生剤と、を含有するレジスト組成物。式中、R01は水素原子、アルキル基又はハロゲン化アルキル基である。Va01はアルキレン基である。Ra01は酸解離性基である。Rb01...