平井暢 さんに関する公開一覧

一部、同姓同名の別人の方の出願情報が表示される場合がございます。ご了承くださいませ。

検索結果:1~1件を表示(1件中) 1/1ページ目

  1. 【課題】ソレノイドバルブのバルブ閉鎖時のシール性能を改善する。【解決手段】 金属合金製の環状のバルブシート17と、バルブシート17に対して当接および離間可能に設けられた金属合金製の弁体20と、弁体20を駆動するソレノイドアクチュエータ50と、を有するソレノイドバルブであって、弁体20は、少なくともバルブシートと当接する部分の硬度が、前記バルブシートの硬度よりも低く形...

    ソレノイドバルブ、流量制御装置、流体制御装置および半導体製造装置