川田大輔 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】高周波に対する接地面を形成する部材におけるインピーダンスを調整する。【解決手段】処理容器と、高周波電流を供給する高周波電源と、前記処理容器に電気的に接続された部材と、を有し、前記部材は、前記部材のインピーダンスを調整するために、前記処理容器内の特定の構成に対応する前記部材の第1の領域の単位体積あたりの表面積が、前記第1の領域以外の領域である前記部材の第2の領域...

    基板処理装置