川尻和廣 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】試料表面の帯電現象を防止する為に複雑な形状を有する該試料のあらゆる面及び孔の内部にも出来るだけ均一に導電性薄膜微粒子を付着(コーティング)させる為の前処理装置。【解決手段】スパッタされたターゲット2の原子がステージ11上に載置された試料10に付着することにより試料表面上に導電性薄膜が形成される。その際、該試料の表面ないしは側壁面上に存在する微細な突起の周囲や孔...

    電子顕微鏡観察試料の前処理用薄膜コーティング装置