川原村敏幸 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】膜厚が略均一かつ、ミストの噴射時間を調整することにより膜厚制御が容易な水酸化ニッケル薄膜の製造方法、及び水酸化ニッケル薄膜を正極とした二次電池を提供する。【解決手段】水酸化ニッケル薄膜の製造方法は、水酸化ニッケルナノ粒子が分散している分散液を作製する第1の工程と、分散液を超音波でミスト化し、水酸化ニッケルナノ粒子が内在した水酸化ニッケル溶液ミストを作製する第2...

    水酸化ニッケル薄膜の製造方法及び二次電池

  2. 【課題】製造効率が高い強誘電体薄膜の製造方法を提供する。【解決手段】強誘電体薄膜の製造方法は、基板を準備する工程と、ミストCVD法により、強誘電体薄膜を形成する酸化物の前駆体原料を含む液滴状の材料を利用して、基板上に、直方晶構造の酸化ハフニウム(HfO2)結晶を含む強誘電体薄膜を形成する工程と、を含む。そして、強誘電体薄膜を形成する工程では、ハフニウムアセチルアセトナ...

    強誘電体薄膜の製造方法、強誘電体薄膜製造装置および強誘電体薄膜