川中朝一 さんに関する公開一覧

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  1. 【目的】固体微粒子および化学的汚染を連続的に効率よく分離、除去して高度の清浄空間を提供する。【構成】ルーム内1の気体を循環浄化する経路14を有するクリーンルームの循環経路の上流側から、プレフィルタ10、陽イオン交換繊維と陰イオン交換繊維とからなるフィルタ(A)11またはアルカリ化合物を担持せしめた活性炭層とイオン交換繊維層とを組合わせたフィルタ(B)11´、および超高...

    クリーンルームとクリーンルーム内の清浄化方法