川上辰男 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】マイクロマニピュレーション装置において、プローブと顕体試料の電気的接触を効率的にかつ迅速、正確に行なうための方法および装置の提供。【解決手段】走査型電子顕微鏡画像を観察しながら顕体試料の電気的微細作業を行なうマイクロマニピュレーション装置において、プローブへ交流電圧を印加した状態で、該プローブ先端の顕体試料表面作業点への針当てを走査型電子顕微鏡視野下で行ない、...

    プローブと顕体試料の電気的接触検出方法及びその装置

  2. 【課題】顕微鏡観察画像視野下で顕体試料とマイクロプローブの針先を観察しながら、半導体集積回路などの多層微細配線深層部へダイレクトに電気的特性の測定を行ない不良箇所の解析を行なうにおいて、絶縁膜を効率的に除去し、測定対象箇所へのプローブの移動と位置決めを効率的に行ない、同時に操作性および確実性に優れた微細作業を行なうことのできるマニピュレーション装置の提供【構成】局所プ...

    顕微鏡微細作業用マイクロマニピュレーション装置