崔弘毅 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】信頼性を高めることができる圧電振動素子及びその製造方法を提供する。【解決手段】圧電振動素子の製造方法は、圧電基板(水晶基板)170を準備する工程と、大気圧環境下においてプラズマ照射によりラディカル化された処理ガス941を用いて、圧電基板170の一方面側の同一平面上に複数の突起部を形成するように、圧電基板170の一方面側の一部を除去加工する工程と、圧電基板170...

    圧電振動素子及びその製造方法

  2. 【課題】振動素子の小型化を図りつつ外部からの応力を緩和させる。【解決手段】振動素子10Aは、振動基板11と、振動基板の両側の主面に設けられた第1励振電極14a及び第2励振電極14bと、振動基板11の第1方向の一方の端部に配置された第1接続電極16a及び第2接続電極16bと、振動基板の厚さ方向に貫通する貫通孔17と、振動基板の厚さ方向に窪んだ凹部18a,18bと、を備え...

    振動素子及び振動子